高真空残余气体分析仪 普发气体分析仪

用于过程监测和优化产品品质的分析设备

普发真空为真空处理过程中的气体测定提供了各种不同的分析仪。从质谱仪到复杂的分析系统，在我们这里您将会找到从超高真空范围一直到大气压力的气体分析解决方案。四极杆质谱仪 PrismaPro 是气体分析较基础的设备。PrismaPro 是一个普遍适用的质谱仪，其磁场轴技术保证了高灵敏度。它还具有高效率以及测量速度快的特点。

并且 PrismaPro 不仅仅显示各自的分压，同样也可以检测总压力。它的界面接口使这款质谱仪可以很容易地与气体色谱仪连接。紧凑的设计，模块化结构和用户友好软件 使其成为泄漏检测、半导体制造、玻璃镀膜、冶金化工的理想设备。另外，在研发领域也有无数的应用。普发真空为其客户在所有这些领域中提供量身定制的解决方案。当然，普发真空还提供所需的质谱仪配件，例如各种离子源阴极。

什么是质谱仪

质谱测量是一种可以用来测量原子和分子质量的方法。通过这种方式测量化学混合物成分的分压来分析化合物。待分析的物质首先被转化为气态的聚合状态并且发生电离。电场使离子加速，使得它们在其各自的质荷比基础上被分类和分离。然后测定气体各种成分的分压。每个质谱仪包括一个离子源、一个质量过滤器和一个检测器。根据所采用的质量过滤器来区分不同类型的质谱仪 。由于其广泛的应用选项，四极杆质谱仪具有可靠的测量表现。这些分析设备也经常用于真空技术。

质谱仪及其应用

四极杆质谱仪具有平行排列的四根电极杆，构成了四极场。它们的交点与平面垂直于圆柱体轴线，形成一个场（因此命名为四极）。静态电场使离子加速以后，离子飞过四极场。杆之间的四极场每次只会允许给定质量的一个粒子通过，。四极杆质谱仪提供高分辨率版本以简易版两种型号供用户用作残余气体分析。由于其频率范围宽，这类质谱仪可应用于众多领域，包括从药理学到环境分析领域。

四极杆质谱仪是用于在真空系统中评估残余气体成分的经典测量仪。

质谱仪为气体成分质量 - 电荷比供应的离子电流提供有关真空系统在多个操作阶段有用的信息，无论是用于确定安装后的气密性和无污染性还是在操作真空处理时用于其特性。

根据真空室和抽气系统的设计，在真空系统中获得的压力范围决定了质谱仪对检测器的选择。在高真空中，通常一个法拉第检测器就足够了，而在高真空中检测非常低的气体密度时，一个二级电子倍增器是必要的。另一个重要标准则是待检测的质量范围。

在传统的真空系统中，大气中的气体，例如氮气、氧气、氩气、水蒸汽等，通常受到轻烃污染是重点。为了检测这些气体，范围在 1 至 100 原子质量单位 (u) 之间的四极杆质谱仪是理想的，因为在该范围内显示了良好的质量分离。若较重的气体及其组成成分也须检测出来，如长链烃，普发真空也为此提供了范围在 1〜200 u 或 1〜300 u 之间的质量过滤器。

开放的离子源在大多数残余气体分析任务中是较佳选择，因为它们将稳健的设计与较高的检测灵敏度相结合。凭借封闭或交叉束离子源，可有利地掌握必须分析气体喷流或气体流的任务。对于超高真空范围，也可提供具有极低释气率的栅网离子源。由于有大量的部件可供选择，且得益于普发真空四极杆质谱仪的精确配置，质谱仪可作为所有测量任务的较佳选择。我们的产品和应用专家拥有多年的经验，将十分乐意为您提供有关残余气体分析仪配置方面的一些建议。

带有法拉第检测器的四极杆质谱仪是用于高真空气体成分定性分析的首选设备。

相比真空测量仪，四极杆质谱仪 (QMS) 可提供远远更多的有关真空的信息。在高真空中，往往一个法拉第杯就足够用来获取有关泄漏、水汽析出或碳氢化合物污染的信息。普发真空在此提供一系列具有不同测量范围和灯丝材料的四极杆质谱仪。

PrismaPro® QMG 250 F1, 1–100 u, 开放式离子源

模块化结构的紧凑型质谱仪可适合您的使用。有以下离子源可供选择：具有极高灵敏度和线性的开放式离子源，适用于残余气体分析和 HV 与极高真空范围内分析性任务。适用于与进气系统接合的气密离子源。适用于直接进气的交叉臂离子源。格栅离子源特别针对极高真空内残余气体分析，具有极低脱气率和解吸率。

产品描述

点击一下即可进行泄漏检测和真空诊断

测量方案定义简单

指示极限低

网络通过以太网实现

PrismaPro 紧凑型质谱仪

针对 Windows 10/8.1/7 系统的 PV MassSpec 软件，可用于测量数据的记录、存储和显示

PrismaPro® QMG 250 F1, 1–100 u, 开放式离子源, 钨, I/O 选项: 标准

点击一下即可进行泄漏检测和真空诊断

测量方案定义简单

指示极限低

针对 Windows 10/8.1/7 系统的 PV MassSpec 软件，可用于测量数据的记录、存储和显示