XDS100B涡旋式真空泵

时间：2021-01-23 点击次数：1508

概述

XDS100B 是滚轴增压泵，具备专门针对高抽速用途的泵送机械装置。与所有增压泵一样，它需要与主泵一同使用，非常适合与 Edwards XDS35i 或 XDS46i 滚轴泵搭配。当入口压力在 1 mbar 到 10 mbar 之间时，XDS100B 针对较大抽速进行了优化，因此非常适合超高吞吐量的 LCMS 应用。先进的泵设计使得末端密封磨损几乎消失，也就减少了维修干预，尽可能延长正常运行时间。
变换器驱动允许泵连接到单相电源，控制着电机的特性，确保泵总是以优化速度运行，并使用户可以对泵进行远程控制。

技术

滚轴泵利用相互交错的固定和轨道滚轴来产生非接触式新月形气泡，并通过轨道运行不断对其进行压缩。这意味着，与油密封旋转泵不同，在泵移动量中不需要密封剂或润滑剂

特点优势

真空外壳中不需要使用润滑剂，完全密封可保证彻底的清洁和干燥真空，防止交叉污染
无大气压到真空的轴封可使轴承完全隔离，从而阻止制程攻击，轴承也能以更低温度运行，使用时间更长
无需更换润滑油，也就消除了处置被污染的润滑油所需的费用
简单的单侧滚轴设计意味着维护工作可在数分钟内完成，降低运行成本，尽可能延长正常运行时间
变换器驱动可使抽速稳定维持在 50/60Hz

技术参数

抽速
50 或 60Hz	95 m3h-1/56 ft3min-1
极限真空（总压力）*	<1 x 10-2 mbar / <8 x 10-3 Torr
较大连续进气口压力	20 mbar/15 Torr
较大连续出口压力	60 mbar / 45 Torr
短时内进气口处的较大允许压力	0.5 bar 表压/7 psig
要从大气抽空的较大真空腔体积	100 升
用于循环负载的较大真空腔体积 – 较大为每小时 6	50 升
电机功率	0.52 kW
标称转速	1750 rpm
重量	48 kg/105 lb
入口法兰	NW40
排气口法兰	NW40
噪音级别	52.1 dB(A)
振动	<4.5mms -1 (rms)
密封性（静态）	<1 x 10-6 mbar ls-1
工作温度范围	10 至 40 °C/50 至 104 °F