真空系统检漏注意事项

真空系统检漏注意事项

首先，了解待检设备的结构组成和装配过程。掌握设备的要求，查明需要进行检漏的重点可疑部位。 

其次，根据真空系统实际应用所允许的大允许漏率以及是否需要找漏孔的具体位置等要求，从经济、快速、可靠等原则出发，正确选择检漏方法或仪器，准备好检漏时所需的设备，并拟定切实可行的检漏程序。 

第三，对被检件进行好清洁工作，取出焊渣、油垢等，再按真空卫生条件要求进行清洁处理，并予以烘干。对要求高的小型器件，清洁处理后可通过真空烘干箱进行烘烤。这主要是为了避免漏孔不被污物、油、有机溶液等堵塞，同时保护检漏仪器。 

第四，检漏方法和检漏设备确定后，需要进行检漏灵敏度的校准，并确定检漏系统的检漏时间。 

第五，若采用真空检漏法时，为了提高仪器的灵敏度，应尽可能将被检件抽到较高真空。 

第六，在符合真空系统需求的前提下，优先选用经济且现场具备条件的检漏方法。 

第七，采用氦质谱检漏设备时，对于要求检漏不高的或有大漏产生的被检件，在检漏初期应尽量用浓度较低的氦气进行检漏，然后再进行小漏孔的检漏，以节约氦气。 

第八，对已检出的大漏孔，要及时进行修补堵塞后再进行小漏孔的检漏。 

第九，对检出并修补的漏孔，需要进行复查，确保检漏结果达到要求。 

除了各个阶段的检漏工作，真空系统在应用中应保持良好的日常检漏习惯，形成规范，保证真空系统的良好运行。