【分子泵和离子泵】分子泵运行特性

涡轮增压分子泵工作中特点具体表现在以下好多个层面  (1)抽速与转速的关联  抽速与转速大概有

S

(4-67)  的关联。在其中：g是决策于几何图形样子的参量；u为动叶子的转速。评测結果如图4-61所显示  即抽速随转速的提升比平行线偏慢。这可由抽速高时进气口道流导的限定功效来表述，依式  (4-66),S将随S1扩大而偏移平行线。  (2)抽速与進口压强的关联  分子泵在分子流的压强范畴内，其抽速基本上不会改变。由于分子流时流导C与压强不相干；  又依式(4-65),S1只决策轮叶样子、转速及汽体类型，也与压强不相干。故依式(4-66),实  际抽速也就与压强不相干。但当压强提高到不符合分子流标准时(约为2×101Pa),因为大  一部分分子与轮叶不可以立即撞击，抽速因而快速降低。如图4-62中的右侧一部分，曲线图1、2、3  相匹配不一样的前面泵

(3)压缩比与转速及相对性分子品质的关联  压缩比与转速及相对性分子品质的平方根有指数值关联

(G

(4-68  K  式中，G为决策于几何图形样子的主要参数  评测結果与式基础合乎。如图4-63所显示
为压缩比，在其中：p表明前面泵口的压  力，力。表明分子泵通道工作压力。同一转速下，大汽体分子压缩比大，極限真空泵高，轻汽体分  子，压缩比小，極限真空泵低，即分子泵極限真空泵中以轻分子为主导；也就是说，分子泵抽除像  氡气、氦气等轻分子的能力较差。分子量大的汽体，压缩比较高。它是涡轮增压分子泵能用来得到   清洁真空泵的物理学基本。  (4)压缩比与前面压强的关联  一般分子泵挑选真空泵做为前面泵，当今级压强考虑一定规定时，分子泵工作中平稳，压  缩比维持参量。如图所示464所显示，当今级压强升高到1Pa时，小质量数的分子压缩比刚开始下  降，当今级压强升高到数十帕时，压缩比骤降，分子泵便不可以一切正常工作中。

(5)抽速与汽体类型的关联  抽速与汽体类型如同图4-65所显示的关联，即随的转变比平行线略慢。这是由于在转速  定时执行，P大的汽体虽然其速度比率大，因此轮叶的何氏指数大，但他们在进气口道的流导  都因扩大而减少。二者综合性的結果使S与v的关联转变迟缓

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