【电子真空泵】光驰扩散真空泵使用注意事项

光驰扩散机械泵应用常见问题 
油扩散喷射泵应用应留意难题  (1)  ①自然环境温度、环境湿度和冷却水温度都对泵的特性有非常大的危害。冷却实际效果的优劣是泵正  常工作中的确保。冷却实际效果不太好会使油蒸汽从泵通道向被抽室内空间内返油，环境污染被抽室内空间；喷涌  级冷却不太好，油蒸汽会被前面泵吸走，時间一长能导致扩散喷射泵内剩余油降低，危害泵的性  能。

按扩散喷射泵的国家标准(B/T7265-2004)的要求：办公环境温度为5~30℃,相  对环境湿度不超80%;冷却水温度不超过40℃;事实上泵基础特性明确的主要参数，是在进  气口工作压力为1.3Pa时，对气体所测出的值，冷却水的温度为5℃±30℃。  ②油扩散喷射泵所抽的被抽汽体应当尽量是干躁、整洁的汽体。假如抽除含有尘土  的汽体，务必配有过滤装置，但安上过滤装置如同上边上述，会
③泵在通电加热器前前面泵务必确保出示10Pa下列的预真空泵，避免 泵油空气氧化。泵在起动  后要查验加温输出功率是不是适合，冷却水量和温度是不是符合规定  ④当泵停止工作时，不可以马上终止冷却水，假如泵装有急凉水管，可在泵终止加温  30min以后，对泵开展迅速冷却，冷却時间与自然环境情况相关，冬季、夏季、南北方地区都是有区  别。

    一般实际操作职工用手去摸泵壁不发烫，就可以终止冷却水的提供。  (2)油扩散喷射泵拆卸时要留意难题  ①油扩散喷射泵拆卸时，要将泵壳的突面维护好，不必磕伤或刮伤。大中型立柱式泵的  加热炉盖与加热炉体是用锡坠密封性的，归属于金属材料密封性拆卸加热炉盖时清理旧泵再换掉新泵油后，需  用新锡坠重新装配备好地脚螺栓(对称性匀称的固紧地脚螺栓),以保证 加热炉体的密闭性。  ②泵芯(包含扩散喷涌喷头和喷涌喷头)先后拆下来后，先用车用汽油后用甲苯、乙醇清理  并风干后，用细沙布盖好。等候泵的全部零部件都清理后，按产品手册要求的安裝流程进  行安装  ③泵安装时，先将泵芯装进泵身体，并按产品手册的规定查验各个喷头的部位和扩  散级喷头的空隙，查验泵入口的挡油帽和出入口的挡油器是不是安裝及时。查验达标后，按  规定的剩余油引入油扩散喷射泵油。  ④在油扩散喷射泵一切正常工作中全过程中，假如被抽系统软件出現意外事件曝露空气时，应立即  关掉真空阀门，以维护泵油不会受到空气氧化。特别注意的是一些泵油有害，特别是在对人的双眼伤害较  大，在立即与泵油触碰时，要留意维护生命安全  油扩散喷射泵常见问题及清除方式如表4-36所示

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