【螺杆真空泵机组】真空泵机组如何选择主泵

    依据规定的压力Pw和应用规定,挑选油扩散泵为主导泵。其真空泵抽气机组如图所示3-12  从图3-12得知,扩散泵上边安裝有中600单百叶窗帘障板;障板上边安裝有GDDJ600手  电双用挡板阀,前面装有两部2X-70型真空泵构成真空机

a)依据需要的合理抽速,充分考虑再加上障板、挡板阀后的泵的抽速损害,暂选抽速为  17000L/s的K-600T扩散泵开展试算  b)测算扩散泵与真空室排汽管道的流导,为认证选K-600T扩散泵是不是适合  总的流导C由高真空电磁阀道C1、障板流导C2、挡板阀流导C3串连构成。
明确汽体沿管路的流动性动态性。当真空室压力Pw=2.67×10-2Pa,扩散泵通道工作压力  很低时,故管路出入口工作压力能够忽视。管路中的均值工作压力p=Pw/2=1.33×10Pa,这时  pd=7.92×10-Pa·cm<2Pa·cm(d为管道直径),由此可见为分子结构流  在分子结构流情况下,高真空电磁阀道流导C1=11.64AaL/s,A为管路截面,a为流导指数。当  L/d=125时,得a=0.5,带入C1式得C1=1639/s;C2为15000/s,C3为12600/s  C2C3+C1C3+C1C24830.6L/s  总流导C  c)测算扩散泵的抽速S。扩散泵的抽速S由真空室需要的合理抽速S和总流导C决  定,计算方法为

14162.3L/s  由此可见,挑选K-600T扩散泵是适合的。此泵在10-2~10-4Pa范畴内的均值抽速为  16000~17000L/s,極限真空值p0=7×10-5Pa,能考虑该设备超滤装置为2.67×10-2Pa的  规定。而该泵的较好压力在1×10-2~1×10-4Pa,能考虑该设备压力Pw为2.67×  10-2Pa的规定。