【溅射离子泵电源】溅射离子泵的预抽要注意什么

    溅射离子泵不可以在高过1Pa工作压力下启动,务必用预抽泵将泵和器皿从空气抽  到泵要求的启动工作压力下列才可以启动。溅射离子泵的预抽,能够选用下边四种  方法。  ①干式机械泵。干式机械泵无油蒸汽的环境污染,用作溅射离子泵的预抽,可获  得全无油清理的极高真空泵。可是需要多级别串连或互相组成,可用的干式泵的極限压  力见表2-15。  ②骨架密封机械泵加吸咐阱或正离子阱。前面一种能够抽中10-2~10-3Pa,后面一种只有抽  到10-Pa,都能使溅射离子泵成功启动

③干式机械泵加钛提升阱。先用干式泵或发电机组抽中0-1Pa,关掉闸阀并终止  抽真空,随后启动钛提升泵,一般只需2~3min,就能将几十升的真空泵器皿抽中  关闭钛提升泵后,再启动溅射离子泵  ④有液态氮标准下,可选用骨架密封机械泵加液态氮隔板。尽管不可以保证彻底无油  可是因为预挤时间很短,油的环境污染能够忽略。启动快,方便使用。

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