中小型制冷机低温泵的起动工作压力受致冷输出功率限定,不可以在大气压力下工作中,可依据 对真空泵清理水平的规定,将系统软件工作压力粗抽中100-101a就可以起动制冷机制冷压缩机 做到要求的致冷時间后就可以关掉前面粗抽闸阀终止粗抽,开启高真空阀转换到超低温 泵抽真空。低温泵进风口容许的较大工作压力称之为变换工作压力(与二级冷头致冷输出功率和被抽 器皿容积相关),应依照生产厂家得出的变换工作压力开展实际操作,过高的变换工作压力会危害制冷机低温泵的一切正常工作中 中小型制冷机低温泵与磁控溅射离子泵对比,起动非常容易,能抽除很多氡气,不会有高的反复运动,会造成轻酸的震动,系统设置电子器件能谐仪、二次正离子谐仪和别的表面检测仪时,必须选用合理的减震对策 低温泵进风口冷轧钢板温度远小于真空泵器皿的壁温,这类温度场对泵口周边的气体 分子结构的空间布局有显著的更改,会危害真空计的测量精度,比较严重时出现偏差的原因贴近一倍之 多。同样,不一样温度表面挥发出的分子结构速率不一样,待别是超低温面很大的系统软件(如空 间环模机器设备)难以论述系统软件中工作压力的准确实际意义,它是在开展表面剖析科学研究时必须尤其关心的难题
低温泵另一难题是制冷机能力有限,非常容易受长波红外感应的辐射源危害,试样或生 产加工工艺用电加热器开展加温时,对超低温表而需设计方案热屏蔽掉(如泵口改装水冷散热隔板等)规定热屏蔽掉的设计方案既要具备优良的屏蔽掉实际效果又要不使泵的泵效过多减少
应用中小型制冷机低温泵较特别注意的难题是终止泵运行时的安全隐患。全部运行期内所抽除的气体都被冷疑吸咐在泵内,终止运行后伴随着超低温板的提温,被抽气体将所有释放出,产生的髙压气体一旦超出泵壳的冲击韧性,很有可能产生爆炸事件。针对中小型的极高超滤装置,运行時间很短,抽出来的供气量非常少,全部的供气量都不能产生高过大气压力,停泵后能够无需前面泵将释放出来的气体抽除,等下一次起动低温泵时再预抽释放出来的气体。假如抽真空時间较长,抽供气量非常大,停泵时务必开启前面泵抽除释放出来的气体,直至二寒冷头提温到安全性温度,才可以所有停用抽真空系统软件。无论哪种状况,必须常常查验检修过电压阀门,一且释放出来的标准气压过高,可以全自动排至空气,保证 泵壳安全性。
另一个安全隐患是不能用低温泵抽除像H2、O2混和的风险气体或SiH4这类起火气体,不然会存有发生爆炸安全风险。较好是安裝能将低温泵释放出来的气体排出来户外的排汽管道,做为安全防范的第二道防线
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