【低温泵再生工作原理】低温泵系统有哪些特性

  20K的超低温表面黏的活性碳能合理地冷疑吸咐氢、氖  气容积不大,必须抽除很多N2的低温泵,应当应用4.2K的液态氮低温泵,不能用  气氮低温泵,液态氮低温泵还具备无震动,无电磁场的突显优势,可用以与化学成分分析电  子能仪或二次正离子质谐仪一类的灵巧的表面剖析机器设备。汽体制冷机低温泵的活塞杆  健身运动造成的轻度震动会危害这类机器设备的一切正常运转,因而,用汽体制冷机时,务必采
当今中小型剧制冷机低温泵的运用,日渐变得重要,它是因为它具备下列突显  用合理的防震对策

优势  ①制冷机低温泵的制冷机组能够长期性运转,因此能完成抽气系统软件彻底的自

动化  ②与磁控溅射离子泵一样能完成肯定隔膜真空泵(无氮氧化合物)的“清理”真空泵,压力范畴和抽气工作能力远高于磁控溅射离子泵  ③一样规格的抽气系统软件中,它的泵效指数是全部泵中较大 的。尤其是沒有泵  壳的赤身裸体制冷机低温泵能插入真空泵器皿内,不会受到抽气管路流导的危害  ④泵效超过10000L/s的真空泵抽气系统软件,其项目投资、运转花费均比含有液态氮冷阱

的扩散泵要低。  ⑤制冷机低温泵的容积和净重都较小,而且不会受到安裝方位的限定。运转的可信性不逊于扩散泵  因为中小型制冷机低温泵对H2、Ne、He的抽气容积比较有限,在一些运用中比如真空电镀加工过程中造成的H2很有可能危害它的运转周期时间。除此之外,尽可能不用以抽除很多氩气,若用以抽除很多氩气时,应选用较少二次电子光学屏蔽掉的80K隔板用于冷疑很多氩气,降低氩气进到20K超低温板上吸收剂的几率。不然氬气会在吸收剂的微孔板表面凝固成固体氩,一旦呼吸剂表面遮盖一层固体氩,就仅有靠固体氩霜收集氢、氮,当氬霜的溫度高过20K时,氩霜就不可以收集氢,务必对低温泵开展再造,才可以修复泵的抽气特性。