【真空泵抽速】低温真空泵线性抽速是怎么样的

   低温泵的抽速曲线图与一般机械泵抽速曲线图不一样,低温泵在高工作压力区的抽速超过在低工作压力区  域的抽速,低温泵冷凝吸咐不一样的气体时,其抽速特点曲线图是不一样的,并且评测说明其不一样温  度下的吸附等温线也不一样,发展趋势相近,但切线斜率不一样。

图910是 Dawson和 Haygood测出的室内温度下  CO2在77K超低温凉面上凝结的典型性抽速曲线图,可  对其表述以下  三
刚开始抽真空时,泵人口压力较高,气总流量超出  泵的超低温冷凝工作能力,并且因为气体的导热和对  广为流传热电效应较强,使冷凝层外表温度升高,吸咐  概率(凝结指数)较低,而且非凝结性气体在冷  10

工作压力Pa
0凝板周边沉积,对被抽气体产生阻挡层,可凝性  气体务必历经撞击才可以根据阻挡层凝结在冷凝板  上,这时气体分子在冷凝表层(或阻挡层)上的  图910典型性抽速曲线图(O2在  77K凉面上凝结)
反射面数量(N)很大;因此 使抽速较低。  伴随着工作压力慢慢减少,冷轧钢板溫度保持稳定,气体分子的反射面量降低,被冷凝吸咐的气体分子  数量慢慢升高,即抽速提升。直至某一较大 (临界值)值。自此,尽管伴随着气体工作压力的减少,气  体反射面量再次减少,可是由于吸咐冷凝层中冷凝的气体再次挥发的数量提升,并且因气体压力  低,单位时间内撞击到冷凝表层上的气体分子数量降低,促使再次挥发的气体分子数量超过反  射量少的数量,因此 S降低。在分子流情况下,冷轧钢板的吸咐工作能力远高于撞击到冷轧钢板上的气体  分子数量,泵冷轧钢板总面积一定,抽速一定,与工作压力不相干(见公式计算14-1)。直至極限工作压力下(器皿  内的工作压力与凝结物的挥发工作压力均衡时),冷凝吸咐的气体数量与从冷凝层挥发的气体数量相同,