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组合真空泵的修复方法类似于以前的一些故障修复方法。在某些情况下,维护Z165泵时,将详细说明维护过程。这是油浸式组合泵,也有油封式,维护方法相似。例如:有一个Edward E2M275组合泵。使用两年后,发现极限真空度降低,需要维修。
首先根据组合泵的拆卸和组装步骤进行拆卸和清洗:拆卸端盖,取出转子和转子,用汽油清洗去除杂质,然后干燥,测量组件的尺寸公差,然后检查磨损情况。通常,转子非常磨损。在测量过程中,如果表面或端面磨损较多,但不超过公差,则只能去除毛刺。如果超过公差范围,则应更换新的转子。转子槽类似于转子,有时会严重磨损。如果在4到5根导线中,可以用细文件轻轻校正,使转子槽两侧平行。如果磨损过大,必须更换转子或改变厚度。然后,用内千分尺测量两个腔(两个)的内径,并检查泵腔是否有锥度。
如果锥度较小,可以使用周围的刀。如果锥度较大,则必须使用内圆。精度应为V8.然后,圆的端面应与间隙相匹配。槽稍微张开,两端之间的距离大于0.00毫米。更换新的旋转刀片后,必须比原来的旋转刀片稍厚。因此,在修复转子槽后,只需适当地去除毛刺和修复旋转刀片,使旋转刀片与两个端盖之间的间隙约为0.015毫米。
然后用Versand擦拭旋转刀片和转子槽,使两者平滑平行。最后,按照五件式组合泵的组装方法进行组装,然后使用反向组装方法(图4-3)确保上切点之间的欧洲调整范围为0.01?0.005 mm。拧紧固定螺栓后,使用虫胶溶液在泵的外部接头上涂几遍。当然,在组装之前,应通过刮擦和磨削使每个部件的密封表面变平,较好彼此实现光学配合。组装完成后,将紫胶漆液干燥,然后泵送油。较终,由热电偶真空计测量的泵端口的真空度达到了92格(4×10-Torr)。抽水两天后,如果泵油变黑,可以再次更换。真空稳定后,送到车间接受。
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