氦质谱检漏仪用于镀膜设备的检漏

1.涂层设备泄漏检查的原因

太阳能单晶和多晶电池片在生产过程中应用PECVD沉积 Si3N3.设备需要在4-5天内进行维护（清洁）MASK,更换支架等。)，因为它是清洁设备的内部，所以失效的可能性. 如果涂层设备的密封性不好，涂层产品的膜厚会不均匀，产品周围的膜参数会不合格.

涂层设备维护完成后，可进行泄漏检查，避免产生许多不合格产品，达到节约生产成本的目的.

二、二装设备氨质谱检漏

1.启动氨质检漏仪，然后将检漏仪内部的检漏方法设置为停止不放气。

2.按停止键，使检漏仪处于待机状态。

3.通过波纹管将泄漏检测器的泄漏检测口与真空炉或涂层机连接，并在波纹管一端增加真空手动挡板阀。

4.打开真空炉或涂层机本身的抽空系统，然后打开连接泄漏检测器的高真空手动挡板阀。真空炉或涂层机的真空度为200Pa以下是真空度相对稳定后。

5.按下检漏仪的‘开始’键，让检漏仪进入检漏状态。

6.检漏仪显示的漏率值相对稳定后，可喷氨检漏真空炉或镀膜机的可疑漏点。

7.检漏后，先关闭高真空手动挡板阀，再按下检漏仪的停止键，使检漏仪处于待机状态。

8.最后关闭真空炉或镀膜机的抽空系统。

9.拆除与真空炉或涂层机连接的波纹管。关闭检漏仪的电源。

三：可能出现的问题：

1.检漏仪未设置停止不放气，当检漏仪停止时，会对真空炉或镀膜机的真空系统产生大气冲击，容易损坏真空器件。

2.真空炉或涂层机内部的复杂结构会导致检漏仪的底值较高，使小漏孔难以检测。

3.如果真空炉或涂层机中有润滑油或冷凝水等吸附气体的物质，则喷入的氨会被吸附，泄漏检测器无法检测到氨。