真空系统检漏常用的方法

真空系统检漏是指在真空系统中检测并排除泄漏的过程。常用的真空系统检漏方法包括以下几种：

气体探测器法：利用气体探测器检测真空系统中的气体浓度，从而判断是否存在泄漏。常用的气体探测器有质谱仪、气体色谱仪、氦质谱仪等。

真空计法：利用真空计测量真空系统的压力变化，从而判断是否存在泄漏。常用的真空计有热阴极离子化真空计、热阴极离子化真空计等。

气泡法：将真空系统的部件浸入水中，观察是否有气泡冒出，从而判断是否存在泄漏。该方法适用于对小型和密封性较差的部件进行泄漏检测。

气压差法：在真空系统的两端分别施加气压，观察系统中的压力变化，从而判断是否存在泄漏。该方法适用于对大型和密封性较好的部件进行泄漏检测。

荧光检漏法：在真空系统中加入荧光探剂，利用紫外光检测荧光信号，从而判断是否存在泄漏。该方法适用于对密封性要求较高的部件进行泄漏检测。 

综上所述，真空系统检漏常用的方法包括气体探测器法、真空计法、气泡法、气压差法和荧光检漏法等。对于不同的检测对象和需求，可以选择适合的检漏方法进行泄漏检测。

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