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在高真空泵地区内,当真空技术内材料的出气能够忽视时,真空室的抽气计算时间与低真空泵抽气计算时间同样,因为高机械泵泵效很大,这段时间很短。事实上高真空泵的抽气時间关键在于材料出气
在一开始抽气的几十钟头内,材料出气率是自变量,因此真空室的总出气量随抽气時间而 衰减系数。测算到达某一压力需要的時间由总出气量和泵(或发电机组)的合理泵效的比率决策般能用查材料出气率曲线图和制图方式开展测算
比如:测算抽中压力p必须的抽气時间流程以下。
①测算真空室均衡压力为p时的出气量Q,其值相当于泵(或发电机组)在压力为p时的排量,即
Q=pS(Pa·L/s)
②测算真空室中材料面积为A的均值气速度q,即
q=Q/A[Pa·L/(s:cm2)]
③依据材料出气率曲线图,查出来q的点,与此点相对性应的時间,即是做到均衡压时所必须的時间
测算举
碳素钢制做的真空室置放试验用铜钱,钢和铜的总面积各为4×104cm2,用合理泵效为103L/s的高真空机抽气时,室内温度下需要得到 5×10-Pa必须是多少時间(漏汽能够忽视)?
方式:①测算真空室的均衡压力为5×10-4Pa时容许出气量
Q=pS=5×10-4×103=5×10-(Pa·L/s)
②测算厚钢板和铜钱二者的均值出气率
Q5×10
A8×104 6.25×10-6[Pa·L,(s·cm2)]=6.25×10-5[Pa·m3/(s
③作碳素钢和铜钱二者累加后的均值出气率曲线图(图3-10)。
①查趋势图3-10得:出气率是6.25×106Pa·L/(s·cm2)时的出气時间为0.4lh这一时间便是所愿的抽气時间。
说
①真空室仅有一种材料时,不用作累加曲线图,只用查出气率曲线图就可以
②当材料类型许多 时,可将出气率不大(或总面积不大)的一些材料的出气忽略
只需要做几类出气率大的材料的出气率的累加曲线图,以使
测算简单化 ③当材料总面积不一时,可按材料总面积倍率作累加 线,以上例中,倘若碳素钢的面积为铜钱总面积的20倍 碳素钢出气率则应提升20倍,为此做出累加出气率曲线图 (3)几类典型性真空值抽气時间 真空室内压力降至原始压力的1/2、1/10和 (e=2.718,1/c=0.368)的抽气時间用下述计算公式
降至原始压力的1/2时的抽气時间
V 6)
降至原始压力的1/10时的抽气時间
10=2.30三秒 (3-17)
图3-10碳素钢、铜钱及累加后
的出气率曲线图 降至原始压力的1/e时的抽气時间(称之为稳态值) 1一碳素钢的出气率12一铜的出气率
3一累加后的均值出气率
式中V—真空室的容量,L;
S—泵(或发电机组)对真空室抽气口的合理泵效,L/s
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