【真空泵性能】溅射离子真空泵的启动性能

  溅射离子泵的放电模块中,从第一个电子器件到繁流电子密度做到(约1010个电
子/cm3)恒定值的時间r,称之为启动时间,它是溅射离子泵的一个关键主要参数。启动  時间的长度在于启动压力,在10-1Pa下,放电模块的启动时间为几纳秒,压力  在10-Pa下的启动时间将长达5008,覆射离子泵的放电特点见图241,因而,圆  射离子泵的启动压力不可以太高,也不可以过低,溅射离子泵启动艰难的缘故有下列

几个方面,
(1)启动压力过高  溅射离子泵一切正常启动压力要小于10-1Pa。在1~10-Pa压力范畴内,阳极氧化单  元放电主要是辉光放电,这类压力下受电路的限定,工作电压很低,启动电流量很  大,启动受电路的限定。伴随着压力的减少,从辉光放电慢慢衔接到潘宁放  电,放电电流量随压力的减少而降低,工作电压慢慢修复到额定电流(一般为6~9kV)  高过1Pn启动,务必尤其当心,由于高压力下启动,离子流强,使抽真空模块发  热,会造成原来吸咐在钛膜内的汽体很多释放,放空气又造成更强的离子流,使抽
气模块溫度进一步上升,那样的两极化,可能快速产生负极“穿透”。即便 泵
原来的抽供气量较小,放气速度不高,也会因髙压下泵的泵效小,导致说白了的“缓
慢启动”。
过高的启动压力,造成泵內部件发烫放气导致的启动艰难,能用高机械泵作前面泵减少启动压力的方法加以解决。国内溅射离子泵的生产商得出的启动压力范  围小于5×10-4~7×10-5Pa。
(2)真空泵器皿容积过大
容积过大造成启动时间太长,能换用泵效更高的预抽泵,必需时在预抽环节加  热烤制器皿,清除器皿内很多排气后再启动离子泵  (3)泵在湿冷空气中停车時间太久
湿冷自然环境标准,或是泵清理后初次运行,因为泵内各构件消化吸收了很多水份,造  成启动艰难,解决方案可在预抽真空的另外加温烤制。除此之外,平常应当留意泵终止运  转期内尽可能不曝露空气。若因拆换产品工件短期内曝露空气,能用预抽泵提成低真空泵
(4)预抽机械设备油阀环境污染
前面真空泵的油蒸汽环境污染了钛负极板也会使启动艰难。可在空气里加  热,400℃烤制2h,消除油空气污染物。较好是的方式是尽可能选用隔膜真空泵前面泵作预